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半導體設備

核心組件

技術支持

射頻離子源

發布日期:2022/6/30 0:00:00

產品特點
    采用射頻放電,無燈絲,壽命長,減少維護,可長時間穩定工作;單電荷離子,幾乎沒有對屏柵的濺射,消除柵網污染問題,且離子能量及束流可寬范圍內精確控制;更廣泛的工藝氣體,一些特殊的高性能光學薄膜(附著力、折射率、硬度、低吸收和低漂移等)只能用射頻寬束離子源進行離子束輔助沉積工藝來完成;柵網采用異形鉬網,允許聚束或發散;尺寸小,適合緊湊空間,通常采用法蘭安裝,也可根據需求進行定制。

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