江蘇鵬舉半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)有限公司由江蘇省產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院,南通創(chuàng)新區(qū)和海歸團(tuán)隊(duì)共同投資成立。是一家專注于半導(dǎo)體關(guān)鍵組件及特種工藝設(shè)備的高新技術(shù)公司,集設(shè)計(jì)、研發(fā)、制造、銷售及工藝技術(shù)支持服務(wù)于一體的綜合解決方案供應(yīng)商。 公司集聚國內(nèi)外半導(dǎo)體領(lǐng)域技術(shù)專家,來自清華大學(xué),美國Bell Lab貝爾實(shí)驗(yàn)室,英特爾,海力士等資深半導(dǎo)體人士領(lǐng)銜,自主研發(fā)生產(chǎn)國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所需的“卡脖子”關(guān)鍵組件及工藝設(shè)備。目前主要產(chǎn)品包括高真空管路、腔室設(shè)計(jì);柵網(wǎng);離子源;研發(fā)型、產(chǎn)業(yè)化型原子層沉積(ALD);研發(fā)型原子層刻蝕(ALE);HF,XeF刻蝕機(jī)/離子束刻蝕IBE/沉積設(shè)備IBD等,廣泛應(yīng)用于IC 芯片、MEMS、LED、光通信、強(qiáng)激光、深紫外、磁存儲(chǔ)等器件的生產(chǎn)。
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