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PEALD設(shè)備
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PEALD設(shè)備
發(fā)布日期:2023/10/11 0:00:00
1.成膜均勻性小于1%;
2. LOADLOCK 樣品傳輸系統(tǒng);
3.獨特的進氣設(shè)計,快速閥門相應(<10ms),精確控制每個循環(huán)中的進源量,有效避免反應源的損失;
4.反應Gas line采用全包裹加熱式,對氣線進行差異式控溫方式進行加熱,管路加熱均勻;
5. ICP 遠程感應耦合等離子體系統(tǒng);
6.原裝進口 1000W 射頻電源;
7.高性能真空系統(tǒng)(含進口干泵+分子泵)。
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