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專利技術


江蘇鵬舉半導體設備技術有限公司由江蘇省產業技術研究院,南通創新區和海歸團隊共同投資成立。是一家專注于半導體關鍵組件及特種工藝設備的高新技術公司,集設計、研發、制造、銷售及工藝技術支持服務于一體的綜合解決方案供應商。 公司集聚國內外半導體領域技術專家,來自清華大學,美國Bell Lab貝爾實驗室,英特爾,海力士等資深半導體人士領銜,自主研發生產國內半導體產業所需的“卡脖子”關鍵組件及工藝設備。目前主要產品包括高真空管路、腔室設計;柵網;離子源;研發型、產業化型原子層沉積(ALD);研發型原子層刻蝕(ALE);HF,XeF刻蝕機/離子束刻蝕IBE/沉積設備IBD等,廣泛應用于IC 芯片、MEMS、LED、光通信、強激光、深紫外、磁存儲等器件的生產。

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