產(chǎn)品介紹

離子源是采用離子技術(shù)輔助鍍膜、刻蝕等高端設(shè)備的重要部件，其中柵網(wǎng)是離子源中直接影響均勻性和致密性的重要易耗性配件，它決定了帶電離子的密度、運(yùn)動(dòng)方向、加速度等，直接影響相應(yīng)工序的產(chǎn)品質(zhì)量。

 產(chǎn)品特點(diǎn)

 我公司生產(chǎn)離子源（Ion source）柵極組件主要應(yīng)用于離子刻蝕/沉積設(shè)備（IBE/IBD），柵網(wǎng)為三片一套的鉬柵極(Mo Grid)，依次分別為Beam Grid、Suppressor Grid、Ground Grid，經(jīng)過(guò)專業(yè)特殊的表面加工及精密鉆孔加工。為了保證離子束的均勻性，通過(guò)精確測(cè)量和高精度數(shù)值模擬相結(jié)合，在柵網(wǎng)精確開(kāi)孔、角度分布等方面開(kāi)展技術(shù)攻關(guān)，保證了離子束的均勻性。另外為了保證產(chǎn)品的穩(wěn)定性和耐用性，我司精選高檔進(jìn)口原材料，加工中經(jīng)過(guò)超高溫等獨(dú)有應(yīng)力成型技術(shù)處理，經(jīng)過(guò)多道拋光定型噴砂完成，經(jīng)久耐用。

競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)

1.高檔進(jìn)口材料99.9999%以上

2.專業(yè)特殊的加工工藝及超高溫等獨(dú)有的應(yīng)力成型技術(shù)處理；

3.行業(yè)資深專家團(tuán)隊(duì)，品質(zhì)有保障

4.優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品，安心的服務(wù)