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半導(dǎo)體設(shè)備

核心組件

技術(shù)支持

真空腔體

發(fā)布日期:2022/6/30 0:00:00

產(chǎn)品介紹

真空腔體(Vacuum chamber)是真空系統(tǒng)的核心,更是決定真空設(shè)備性能好壞的關(guān)鍵。我司的真空腔體可以針對(duì)客戶的具體應(yīng)用定制加工,主要應(yīng)用于IBE、IBD、ALD 、ALE 、PECVD等。
常用的材料有不銹鋼、鋁合金、碳鋼等,涉及的表面處理有焊接、噴砂、拋光、電解拋光、陽極氧化等,另外也可以依照客戶的需求進(jìn)行熱處理應(yīng)力消除或是振動(dòng)應(yīng)力消除等,為客戶提供更完整的真空制程解決方案。


產(chǎn)品特點(diǎn)
 真空零件制造經(jīng)驗(yàn)豐富,各種規(guī)格真空零件庫存齊全可供真空腔體制造時(shí)使用
 加工能力及場地完整,廠內(nèi)即可完成板料切割、機(jī)械加工、焊接、清洗、組裝及測漏等工程
 使用先進(jìn)3D設(shè)計(jì)軟體,方便與客戶溝通及現(xiàn)場設(shè)計(jì)加工
 公司有真空泵、氦檢儀等專業(yè)進(jìn)口設(shè)備進(jìn)行大型真空腔體腔體的抽氣及測漏作業(yè),真空腔體的品質(zhì)有保證。




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