產(chǎn)品介紹

真空腔體（Vacuum chamber）是真空系統(tǒng)的核心，更是決定真空設(shè)備性能好壞的關(guān)鍵。我司的真空腔體可以針對(duì)客戶的具體應(yīng)用定制加工，主要應(yīng)用于IBE、IBD、ALD 、ALE 、PECVD等。
常用的材料有不銹鋼、鋁合金、碳鋼等，涉及的表面處理有焊接、噴砂、拋光、電解拋光、陽極氧化等，另外也可以依照客戶的需求進(jìn)行熱處理應(yīng)力消除或是振動(dòng)應(yīng)力消除等，為客戶提供更完整的真空制程解決方案。